***薄膜技術中心委託單下載***中心量測收費標準(不更動)
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儀器名稱 |
量測項目 |
收費標準 |
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學術研究單位 |
營利事業單位 |
計畫合作單位 |
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JEOL JSM-6700F 場發射掃描式電子顯微鏡(SEM) |
試片大小限制：直徑φ25mm*高度10mm 高分子材料不可量測 |
2500元/小時 |
3000元/小時 |
1500元/小時 |
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EDS 元素能量分析儀 |
試片大小限制：φ25mm*10mm 高分子材料不可量測 |
2500元/小時 |
3000元/小時 |
1500元/小時 |
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SOPRA GES5 光譜式橢圓儀 (Ellipsometer) |
量測範圍：190nm-1700nm 量測項目：折射率、消光係數、膜厚、多角度穿透/反射率 |
2500元/小時 |
3000元/小時 |
1500元/小時 |
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DI SPM-II 原子力顯微鏡(AFM) |
試片大小限制：直徑φ10mm*高度3mm 量測範圍：0.5μm*0.5μm－15μm*15μm |
2500元/小時 |
3000元/小時 |
1500元/小時 |
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Twyman-Green 應力量測儀 |
量測範圍:1-10條干涉紋 量測項目:薄膜應力 |
2500元/小時 |
3000元/小時 |
1500元/小時 |
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XRD X光繞射儀 |
試片大小限:2.5*2.5*0.5cm 量測角度-10°~168° |
2000元/小時 |
2500元/小時 |
1000元/小時 |
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a-step 膜厚量測儀 |
掃描長度50μm~30mm 量測項目:薄膜厚度、表面圖形量測 |
2000元/小時 |
2500元/小時 |
1000元/小時 |
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HORIBA-T720 紅外光光譜儀 |
量測範圍：4000~400 cm-1 量測項目：穿透率 |
2000元/小時 |
2500元/小時 |
1000元/小時 |
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Hitachi U-4100 光譜儀 |
量測範圍：190nm-2500nm 量測項目：穿透率、5度角絕對反射率、吸收係數(absorption) |
2000元/小時 |
2500元/小時 |
1000元/小時 |
4.中心鍍膜收費標準
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種類 |
業界 |
學界 |
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HR(edge) |
20,000元 |
15,000元 |
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AR |
15,000元 |
10,000元 |
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Metal |
10,000元 |
8000元 |
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有角度設計,分光鏡,GFF |
看設計or是否有合作潛力,須含測試鍋價錢 |
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新的價格
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層數(金屬氧化膜,金屬膜) |
收費標準 |
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學術研究單位 |
營利事業單位 |
計畫合作單位 |
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第1-5層 |
3000元/層 |
4000元/層 |
2000元/層 |
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第6-10層 |
1500元/層 |
2000元/層 |
1000元/層 |
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第11-40層 |
750元/層 |
1000元/層 |
500元/層 |
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第41-60層 |
1500元/層 |
2000元/層 |
1000元/層 |
l 每層厚度以550nm的1/4波長(光學厚度)為基準；
l 如需測試鍋及測試資料另計；
l 貴金屬(Au,Ag,Pt..)另計；
l 設計複雜(如需針對角度、雙波域、偏振光)須另計設計費；
l 交期:4周，急件(2周內)加50%；
l 基板最大尺寸：φ100 mm，單次以 5 片計，每超過 5 片加收清潔及準備費 2000 元；
l 委託鍍膜金額計算，舉例如下
n 學術單位鍍23層高反射鏡其價格為5*3000+5*1500+13*750=32250
n 營利事業單位要鍍23層高反射鏡其價格為5*4000+5*2000+13*1000=43000
*以上有任何的問題，歡迎與我們聯絡